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碳化硅晶體生長爐品牌
沈陽科學(xué)儀器產(chǎn)地
遼寧樣本
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產(chǎn)品概述：
主要由爐室組件、上爐室組件、樣品支撐機(jī)構(gòu)、測溫窗傳動(dòng)組件、真空獲得及測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成。要求設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)穩(wěn)定，運(yùn)行平穩(wěn)，且有多項(xiàng)安全防護(hù)設(shè)施，質(zhì)量流量及溫度控制精確，整個(gè)晶體生長過程由高可靠的可編程計(jì)算機(jī)控制器（PCC）控制，并可實(shí)現(xiàn)過程全自動(dòng)（CCD）控制、信息記錄。
設(shè)備用途：
本設(shè)備要求采用感應(yīng)加熱方式，在惰性氣體（氬氣）環(huán)境下將石墨坩堝中的碳化硅粉末升華，沉積到碳化硅單晶仔晶上，即物理氣相沉積法（PVT法）生長6″碳化硅單晶。
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