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垂直氧化爐
垂直氧化爐

參考價(jià)格

面議

型號

垂直氧化爐

品牌

華旗科技

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島華旗科技有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

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  • 金屬電熱元件:

    其他
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產(chǎn)品性能:

*垂直結(jié)構(gòu),5~50片/批

*穩(wěn)定優(yōu)良的成膜均勻性,重復(fù)性好

*微環(huán)境低氧控制先進(jìn)技術(shù)

*硅片顆粒度控制穩(wěn)定,國際標(biāo)準(zhǔn)

*多工藝選擇,模塊化,操作便利

*全自動流程,盒對盒,AGV對接

*高集成度,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等標(biāo)準(zhǔn)

配套工藝:

*氧化:干氧/濕氧(DCE, HCL),氮、氫退火,合金、固化,快速熱退火

*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...


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易用性

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