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產(chǎn)品性能：
應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工藝）廢氣處理
多級(jí)噴淋，使易溶于水或與配置溶液反應(yīng)生成沉積的物質(zhì)，以達(dá)到有毒腐蝕氣體的回收，達(dá)標(biāo)氣體的安全排放
處理能力，科研型：50SLM，生產(chǎn)型：100/400-1500SLM
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