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 1）： 適用于6-12英寸的硅片腐蝕清洗功能

 2）： 12”無(wú)盒式（No Cassette）晶圓批次處理可供選擇；

 3）： 軟件客制化、模塊化設(shè)計(jì)，工序可靈活編輯、組合選配；

 4）： 全程自動(dòng)化控制，無(wú)人工干預(yù)，保證產(chǎn)品性能的一致性；

 5）： 根據(jù)工藝需求，槽體可匹配超聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)和過(guò)濾等功能；

 6）： 配備高速移載機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠；

 7）： 可根據(jù)工藝需求，匹配超（兆）聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、溢流循環(huán)噴淋等多種功能；

 8）： 機(jī)臺(tái)可采用晶圓承載、翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，晶圓移載機(jī)器人，F(xiàn)OUP LoadPort配合下料；

 9）： 配備溫水慢提拉+IR干燥組合方式，確保晶圓干燥完全；