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氮化硅片
可提供各種規(guī)格高質(zhì)量氮化硅片，及氮化硅片加工定制服務(wù)。
尺寸：2,3,4,5,6,8,12英寸；定制尺寸；
晶向：<100>、<111>、<110；
氮化層SiO2膜厚；厚度：5nm-10um，常規(guī)：100-500nm；
表面：?jiǎn)蚊嫜趸?、雙面氧化；
加工方法：氧化爐/PECVD等；
類(lèi)型：N型、P型、非摻雜高阻；
電阻率：重?fù)诫s<0.001ω.cm,輕摻雜1~100ω.cm,非摻>1000~>20000Ω.cm；
氮化硅片
可提供各種規(guī)格高質(zhì)量氮化硅片，及氮化硅片加工定制服務(wù)。
尺寸：2,3,4,5,6,8,12英寸；定制尺寸；
晶向：<100>、<111>、<110；
氮化層SiO2膜厚；厚度：5nm-10um，常規(guī)：100-500nm；
表面：?jiǎn)蚊嫜趸?、雙面氧化；
加工方法：氧化爐/PECVD等；
類(lèi)型：N型、P型、非摻雜高阻；
電阻率：重?fù)诫s<0.001Ω.cm,輕摻雜1~100Ω.cm,非摻>1000~>20000Ω.cm；
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