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Theta Flow Wafer品牌
芬蘭百歐林Biolin/Attension產(chǎn)地
芬蘭樣本
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分辨率：
重現(xiàn)性：
儀器原理：
其他分散方式：
測量時間：
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Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
晶圓上的接觸角測量對于評估這些材料的潤濕性和表面特性至關(guān)重要，這些材料廣泛應(yīng)用于電子制造。通過評估液滴與晶片表面接觸的角度，研究人員可以深入了解硅的表面能和粘附性能。這些信息對于優(yōu)化半導(dǎo)體制造中的涂層、光刻和鍵合等工藝至關(guān)重要。了解接觸角有助于確保晶片與生產(chǎn)過程中使用的各種材料之間的預(yù)期相互作用，*終提高電子設(shè)備的性能和可靠性。
應(yīng)用
? 研究表面清潔度
接觸角測量可以評估晶圓的清潔度，從而來評估表面污染物和殘留物的去除情況。
? 確定表面自由能
通過測量接觸角，可以推斷出表面自由能，這對于理解其他材料如何與晶圓相互作用至關(guān)重要。
? 了解粘附性能
接觸角有助于確定應(yīng)用于晶圓的涂層和薄膜的粘附性能。
? 研究親水性/疏水性
測量接觸角可以確定晶圓表面是親水還是疏水，從而影響光刻和蝕刻等工藝。
? 用于質(zhì)量控制
定期的接觸角測量可以作為質(zhì)量控制過程的一部分，以確保晶圓加工和處理的一致性。
支持晶圓接觸角測量的軟件功能
? 批量模式，用于對一排多個晶圓進(jìn)行快速測量。
? 標(biāo)準(zhǔn)座滴法，可進(jìn)行更深入的分析。
晶圓自動旋轉(zhuǎn)臺
Theta系列晶圓樣品臺是一種由軟件控制的電動平臺，用于旋轉(zhuǎn)晶圓，以實現(xiàn)直徑高達(dá)12英寸晶圓的接觸角自動定位測量。
Theta系列晶圓樣品臺包括旋轉(zhuǎn)臺（T340R）和晶圓臺面（T340RW）。晶圓臺面的插銷有助于晶圓的高精度對準(zhǔn)和定位。定位銷還有助于在測量過程中將晶圓保持在適當(dāng)?shù)奈恢?。為了進(jìn)一步固定晶圓，還可以通過內(nèi)置的真空連接口連接到真空泵。
Theta系列晶圓樣品臺連接到自動XYZ樣品臺，可以自動定位直徑高達(dá)12英寸的晶圓。為了**限度地提高旋轉(zhuǎn)臺的性能，建議將其與四個可拋棄滴液頭滴液器結(jié)合使用。這將允許自動進(jìn)行表面自由能測量，或者在只使用水的情況下增加連續(xù)的測量次數(shù)。
晶圓接觸角測量儀
| 測量參數(shù) | 表面張力，界面張力，接觸角，表面自由能 |
| 相機(jī)分辨率上限(像素) | 2592*2048(5 MP) |
| 拍照速度上限（FPS） | 3422 |
| 旋轉(zhuǎn)移動范圍 | 0-360° |
| **轉(zhuǎn)速 | 180°/s |
| 分辨率 | 0.005° |
| 精度 | ±0.1° |
樣品規(guī)格
| 適合的樣品尺寸 | 2英寸, 3英寸, 4英寸, 5英寸, 6英寸, 8英寸, 12英寸晶圓 |
| **樣品重量 | 500g |
其他
| 真空泵連接 | 是 |
| 接觸角的自動定位 | 是 |
Theta Flow Wafer晶圓接觸角測量儀是一款高端的晶圓全自動接觸角測量儀器。該儀器包括Theta Flow Wafer光學(xué)接觸角測量儀主機(jī)，可配置四個具有軟件控制、可水平移動、可拋棄滴液頭的自動滴液器，以及帶自動旋轉(zhuǎn)的全自動XYZ樣品臺。
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第八屆全國沉積學(xué)大會將于2025年4月23日-25日在北京國測國際會議中心舉行。會議時間：4月23-25日（22日報到）會議地點：北京國測國際會議中心大昌華嘉科學(xué)儀器歡迎您蒞臨 28&nbs
納米氣泡是液體環(huán)境中完全由氣體組成的一類特殊的納米顆粒。目前的研究已證實，納米氣泡在環(huán)境保護(hù)、農(nóng)業(yè)種植養(yǎng)殖、工業(yè)清洗、醫(yī)美等領(lǐng)域有非常大的應(yīng)用潛力，相關(guān)行業(yè)的研究熱度也很高。快速、準(zhǔn)確、全面的納米氣泡
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