參考價格
面議型號
LED退火爐品牌
賽瑞達產(chǎn)地
江蘇樣本
暫無非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
其他溫控精度：
±1℃最高溫度：
-額定溫度：
-看了LED退火爐的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
LPCVD用于淀積Poly-Si、SIPOS、SiO2(LTOTEOS)、P*Poly-Si、N*Poly-Si、SiN(LSSiN)、PSG、BSG、BPSG等多種薄膜。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、電力電子、光電子及MEMS等行業(yè)的生產(chǎn)工藝中。
設(shè)備主要特點
◎ 采用先進的閉環(huán)控制系統(tǒng)，壓力穩(wěn)定無波動
◎ 高精度溫控系統(tǒng)
◎ 工藝薄膜均勻性優(yōu)異
★支持SECS/GEM通訊
主要技術(shù)指標(biāo)
◎ 適用硅片尺寸:4~6"
◎ 工作溫度范圍:350℃~800℃
◎ 恒溫長度:300-1100mm(可定制)
◎ 系統(tǒng)極限真空度: 10mtorr
◎ 工作壓力范圍:100~400mtorr可調(diào)
工藝類型
◎ Poly
◎ D-Poly(P+/N+)
◎SIPOS
◎BPSG
◎ SiO2 (LTO TEOS )
◎ 工藝均勻性:
◎SiN(LSSiN)
片內(nèi)≤±2% 片間≤±2% 批間≤±2%
暫無數(shù)據(jù)！
LED退火爐的工作原理介紹？LED退火爐的使用方法？LED退火爐多少錢一臺？LED退火爐使用的注意事項LED退火爐的說明書有嗎？LED退火爐的操作規(guī)程有嗎？LED退火爐的報價含票含運費嗎？LED退火爐有現(xiàn)貨嗎？LED退火爐包安裝嗎？
手機版：
工商已核實
