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JD-1200全自動(dòng)軟軸單晶爐品牌
北京京運(yùn)通產(chǎn)地
北京樣本
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JD-1200全自動(dòng)軟軸單晶爐，是軟軸提拉型單晶爐，是在惰性氣體環(huán)境中，以石墨電阻加熱器，將一定純度的硅材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無位錯(cuò)單晶的設(shè)備，它可生產(chǎn)太陽能光伏電池和大規(guī)模集成電路所需要的高質(zhì)量單晶。該設(shè)備**可使用28英寸的熱系統(tǒng)，**熔料370kg，拉制10英寸或以下的單晶。由于投料量的增大，產(chǎn)能比JD-1100爐型提高20%以上，是JD-1100型單晶爐的姊妹機(jī)型，除具有JD-1100型單晶爐的特性外，從外觀設(shè)計(jì)、維護(hù)維修便利性、自動(dòng)化程度和各項(xiàng)性能指標(biāo)等方面，均有很大幅度的提升。
1 | 型號(hào) | JD-1200 |
2 | 名稱 | 單晶硅爐 |
3 | 電源電壓 | 380V |
4 | 電源頻率 | 50Hz |
5 | 加熱方式、加熱組件 | 電阻加熱、石墨加熱器 |
6 | 主加熱器**功率 | 165KW |
7 | 主加熱器**加熱電壓/電流 | 55V/3000A |
8 | 輔加熱器**功率 | 60KW |
9 | 輔加熱器**加熱電壓/電流 | 50V/1200A |
10 | 整機(jī)功率 | ≤240KW |
11 | 爐內(nèi)**溫度 | 1600℃ |
12 | 冷態(tài)爐內(nèi)極限真空度 | ﹤3Pa |
13 | 生長(zhǎng)晶體的直徑范圍 | ≦10″ |
14 | 熔料重量 | Max 370kg |
15 | 原料 | 多晶硅原料 |
16 | 主爐室尺寸 | Ф1200×1400mm |
17 | 旋轉(zhuǎn)閥通徑 | ￠360 |
18 | 副室+操作室尺寸 | ￠360×4600mm |
19 | 籽晶拉速范圍 | 0.1～10mm/min |
20 | 籽晶快速 | ≥500mm/min |
21 | 籽晶轉(zhuǎn)速范圍 | 2-30rmp |
22 | 坩堝升速范圍 | 0.02～1mm/min |
23 | 坩堝轉(zhuǎn)速范圍 | 1-30rpm |
24 | 籽晶在副室內(nèi)有效行程 | ≥4000mm |
25 | 主機(jī)總高 | 10242mm |
26 | 主機(jī)占地面積 | 2518mm×1700mm |
27 | 整機(jī)占地面積 | 5500mm×6500mm |
28 | 進(jìn)水量的要求（壓力） | **0.40Mpa 壓差0.2Mpa |
29 | 冷卻水用量/臺(tái) | >25 m3/h |
30 | 冷卻水進(jìn)水溫度 | 25-28℃ |
31 | 氬氣用量/臺(tái) | 0.3Mpa~0.7Mpa≈110L/min |
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