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JQ-900型區(qū)熔單晶體長爐品牌
北京京運通產(chǎn)地
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JQ-900型區(qū)熔單晶生長爐是集機、光、電一體化的大型高可靠性、高精度、高自動化的單晶生長設(shè)備，整機性能指標達到同類產(chǎn)品國際**。主要生產(chǎn)6-8英寸大規(guī)格區(qū)熔單晶硅，單晶長度**可達2500mm, 單晶純度可達99.99999999%,，其晶片主要用于IGBT芯片、可控硅、紅外探測器以及航天航海等尖端科技領(lǐng)域，另外憑其23%的光電轉(zhuǎn)換效率，我們還可以大膽償試將其用在光伏發(fā)電領(lǐng)域。
1. | 主爐室 | 內(nèi)爐堂直徑[mm] | Φ902X1190高 |
2 | 上副室 | 爐膛直徑[mm] | Φ500 X1800高 |
3 | 下副室 | 爐膛直徑[mm] | Φ500 X2500高 |
4 | 上傳動 | 行程[mm] | 2000 |
主軸轉(zhuǎn)速[rpm] | 0-30±1% | ||
主軸直徑[mm] | 100 | ||
5 | 下傳動 | 主軸行程[mm] | 2600 |
主軸轉(zhuǎn)速[rpm] | 0-30±1% | ||
主軸直徑[mm] | 100 | ||
內(nèi)軸行程[mm] | 340 | ||
6 | 平動組件 | 行程[mm] | ±25 |
7 | 槽路組件 | 行程[mm] | 530 |
8 | 反射環(huán) | 行程[mm] | 50 |
快速移動速度[mm/min] | 20 | ||
9 | 預熱環(huán)組件 | 行程[mm] | 285 |
快速移動速度[mm/min] | 100 | ||
10 | 制備外形 | 長X寬X高[mm] | 6600X4200X14000 |
11 | 真空系統(tǒng) | 真空度(mbar) | ≤0.01 |
12 | 氣路系統(tǒng) | 進氣壓力[Ba] | 5-12（推薦10） |
生長氣流量[L/min] | 50 | ||
氣體質(zhì)量 | C57-0305，等級4.8 | ||
13 | 冷卻系統(tǒng) | 進水壓力[Ba] | 4-6 |
進水溫度[°C] | 12-25 | ||
進水流量[L/min] | 200 | ||
物理清潔度[mm] | 0.38 | ||
14 | 電器 | 電源頻率[Hz] | 50或60 |
電壓[VAc] | 3X380 | ||
發(fā)生器輸出功率(kW) | 120KW | ||
控制電源(Hz) | 50或60 | ||
電壓[VAc] | 3X380 | ||
功率 | 10KW | ||
進電電源整流濾波 | 有 | ||
控制系統(tǒng) | 西門子S7-300 | ||
人機界面控制 | Pro-face觸摸屏 | ||
CCD監(jiān)控系統(tǒng) | 基恩士 | ||
上下傳動移動驅(qū)動 | Lenze驅(qū)動 |
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