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WDS系列 晶圓擴晶設(shè)備品牌
通用半導(dǎo)體產(chǎn)地
江蘇樣本
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功能說明
晶圓擴晶機又稱為晶圓擴張分離機。將經(jīng)過切割后的晶圓進(jìn)行擴張，增加獨立晶粒（Die）之間的間隙，便于摘取分裝。晶圓經(jīng)過隱形切割后，通過頂升、擴張動作，將隱形切割后晶圓內(nèi)部的變質(zhì)層拉伸，使晶圓沿著變質(zhì)層開裂，形成整齊可控的切割裂紋。
機構(gòu)特征
擴膜高度可以調(diào)節(jié)
擴膜速度可以調(diào)節(jié)
臺盤溫度可以調(diào)節(jié)
設(shè)備優(yōu)勢
暫無數(shù)據(jù)！
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