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主要特點(diǎn)：

1、成像質(zhì)量:使用***的相機(jī)技術(shù)以實(shí)現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描

2、量測(cè)集成包：大族激光是**家使用量測(cè)集成包的公司，能夠以一種簡(jiǎn)單方便的方式創(chuàng)建一個(gè)快速的量測(cè)方案

3、光學(xué)系統(tǒng):使用自主先進(jìn)的大視野顯微鏡，配有高級(jí)照明系統(tǒng)和即時(shí)聚焦技術(shù)

4、缺陷查找：使用先進(jìn)的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異

5、直線高精電機(jī)，XYZ平臺(tái), 100納米分辨率

6、機(jī)械結(jié)構(gòu)200納米精度

7、潔凈化設(shè)計(jì) (運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在晶圓下側(cè))

8、浮式基座平臺(tái)減小設(shè)備震動(dòng)影響

主要參數(shù):

加工效果：