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飛秒激光增強玻璃蝕刻通孔機（FLEE-TGV）品牌
大族半導(dǎo)體產(chǎn)地
廣東樣本
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主要特點：
設(shè)備特點：
1、國內(nèi)率先導(dǎo)入TGV工業(yè)量產(chǎn)
2、加工直徑**12’’、厚度≤1mm
3、高性能、高可靠性飛秒激光
4、高性能控制系統(tǒng)，實現(xiàn)高效率高精度加工能力
5、搭載自主研發(fā)光學模組，適應(yīng)多種材料，孔圓度≥95%
6、多種軌跡生成與加工方式，智能化人機交互
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | ≤205*205mm |
| 加工速度 | 80-120mm/s | |
| 加工精度 | ±5μm | |
| 平臺參數(shù) | 400mm*250mm | |
| 激光器參數(shù) | 20W IR PS | |
| Tact time | 效率：≥650個/S | |
| 稼動率 | 0.98 | |
| 良率 | >98% |
加工效果：
暫無數(shù)據(jù)！
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