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MEMS

推薦低能耗!金剛石MEMS新進(jìn)展!

中國粉體網(wǎng)訊 近日,日本國立物質(zhì)材料研究所廖梅勇主席研究員團(tuán)隊(duì)的AMR述評文章“Low-Energy Dissipation Diamond MEMS”在線發(fā)表。文章基于其實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的“智能剪切”法所制備的器件,概述了實(shí)現(xiàn)超[更多]

資訊 金剛石MEMS能量耗散金剛石MEMS品質(zhì)因子
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