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半導(dǎo)體零部件

推薦透視靜電卡盤(pán)市場(chǎng)，誰(shuí)主沉��？

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體與光學(xué)領(lǐng)域中，部分工藝需要使用靜電卡盤(pán)（ESC）固定襯底來(lái)完成，靜電卡盤(pán)通常處于下腔室位置。同時(shí)靜電卡盤(pán)也可以實(shí)現(xiàn)快速加熱以及加載射頻功率調(diào)節(jié)等離子體狀態(tài)的作用。此外靜電卡盤(pán)在工藝過(guò)程中還具有高穩(wěn)定性、[更多]

資訊 精密陶瓷先進(jìn)陶瓷靜電吸盤(pán)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體零部件
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