中國粉體網(wǎng)訊 在半導(dǎo)體制造中,需要要對晶圓進(jìn)行各種工藝處理,例如薄膜沉積、刻蝕等。在這些環(huán)節(jié)中,需要將晶圓加熱到一定溫度,并且對溫度有著嚴(yán)格的要求,因?yàn)闇囟鹊木鶆蛐詫Ξa(chǎn)品良率有著非常重要的影響,加熱部件必不可少。除了確保晶圓[更多]
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