推薦材料的超精密加工與化學機械平坦化

中國粉體網訊 超精密加工是指實現加工零件的尺寸精度為0.1～100 nm，同時表面粗糙度小于10 nm的加工技術，“超精密”的表面粗糙度和形狀精度分別是傳統(tǒng)加工方法的1000倍和100倍。超精密加工最開始被開發(fā)用于制造計算機[更多]