氣相法二氧化硅是一種重要的納米無(wú)機(jī)化工材料(被稱(chēng)為工業(yè)味精);電子級(jí)高純硅烷氣是電子化工材料新門(mén)類(lèi)、微電子產(chǎn)業(yè)的重要支撐材料之一,這兩種材料在民用、工業(yè)、國(guó)防領(lǐng)域均有廣泛用途。赤峰盛森硅業(yè)科技發(fā)展有限公司自主研發(fā)單套年產(chǎn)5000噸氣相法二氧化硅裝置,創(chuàng)新性地采用先進(jìn)的閉式爐和分段熱回收工藝,確保了產(chǎn)品質(zhì)量提高。2011年6月,公司與青海大學(xué)、天津大學(xué)開(kāi)展產(chǎn)學(xué)研合作,自主研發(fā),首創(chuàng)了用歧化催化法生產(chǎn)高純硅烷氣技術(shù),填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,突破了國(guó)外技術(shù)封鎖。
赤峰盛森硅業(yè)科技發(fā)展有限公司的氣相法二氧化硅和硅烷氣項(xiàng)目,在硅產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)部形成了一個(gè)完整的物料閉路循環(huán)體系:氣相法二氧化硅項(xiàng)目以四氯化硅和氫氣為原料,副產(chǎn)品為鹽酸;鹽酸解析出的氯化氫與硅粉反應(yīng)生產(chǎn)三氯氫硅,副產(chǎn)的氫氣用于生產(chǎn)氣相法二氧化硅;三氯氫硅經(jīng)歧化催化反應(yīng)生產(chǎn)電子級(jí)的高純硅烷氣;硅烷氣生產(chǎn)過(guò)程中副產(chǎn)大量的四氯化硅再用于氣相法二氧化硅產(chǎn)品的生產(chǎn)。兩個(gè)項(xiàng)目形成互相利用對(duì)方副產(chǎn)物生產(chǎn)高附加值產(chǎn)品的良好格局,達(dá)到無(wú)三廢排放的循環(huán)體系,并且回收了整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中的余熱,產(chǎn)品能耗與同行業(yè)相比降低70%。
專(zhuān)家稱(chēng),赤峰盛森硅業(yè)科技發(fā)展有限公司生產(chǎn)氣相法二氧化硅和電子級(jí)高純硅烷氣,副產(chǎn)物相互利用,是一個(gè)具有經(jīng)濟(jì)和環(huán)保雙重效益的工藝技術(shù),將進(jìn)一步提高我國(guó)硅產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平和市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。