中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近年來(lái)，國(guó)內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)在技術(shù)和規(guī)模上持續(xù)突破，從初露鋒芒到大放異彩，中國(guó)碳化硅產(chǎn)業(yè)殺出了自己的“花路”。
來(lái)源：天岳先進(jìn)
碳化硅：更大、更厚、更高效
從技術(shù)層面來(lái)講，大尺寸碳化硅是必然的發(fā)展趨勢(shì)。
馬斯克一句“放棄碳化硅”引發(fā)的行業(yè)“地震”讓更多的人把目光放在成本上，為了規(guī)模化降低SiC成本，擴(kuò)徑是一條捷徑。碳化硅從主流的6英寸到8英寸，其生長(zhǎng)難度會(huì)成倍的增加，然而隨著下游市場(chǎng)需求增長(zhǎng)，8英寸成各個(gè)“玩家”發(fā)展目標(biāo)。
2023年開始，中國(guó)碳化硅單晶襯底產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，在8英寸碳化硅襯底取得突破。
長(zhǎng)大。今年2月，中宜創(chuàng)芯實(shí)驗(yàn)室成功生長(zhǎng)出河南省第一塊8英寸SiC單晶晶錠；青禾晶元突破8英寸SiC鍵合襯底制備；世紀(jì)金芯開發(fā)的8寸SiC單晶生長(zhǎng)技術(shù)可重復(fù)生長(zhǎng)出4H晶型100%、直徑大于200mm、厚度超過(guò)10mm的晶體；2023年，天岳先進(jìn)采用液相法制備出了低缺陷的8英寸晶體，目前其項(xiàng)目“高質(zhì)量低成本碳化硅液相法制備關(guān)鍵技術(shù)”，預(yù)計(jì)總投資規(guī)模1000萬(wàn)元，目前該項(xiàng)目處于研發(fā)階段。目前，晶盛機(jī)電、天岳先進(jìn)、湖南三安等十多家中國(guó)公司已經(jīng)進(jìn)入了8英寸SiC晶圓的樣品交付和小批量生產(chǎn)階段。
長(zhǎng)厚。科友半導(dǎo)體成功制備出國(guó)內(nèi)首次報(bào)道和展示厚度超過(guò)60mm的碳化硅原生錠毛坯，厚度是目前業(yè)內(nèi)主流晶體厚度的3倍，單片成本較原來(lái)降低70%；浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心先進(jìn)半導(dǎo)體研究院-乾晶半導(dǎo)體聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室采用提拉式物理氣相傳輸（PPVT）法，成功生長(zhǎng)出直徑為6英寸（即150 mm）的碳化硅單晶，其厚度突破了100 mm；天岳先進(jìn)用液相法制備的無(wú)宏觀缺陷的8英寸襯底是業(yè)內(nèi)首創(chuàng)，其采用最新技術(shù)制備的晶體厚度已突破60mm。
50 mm厚6英寸（150 mm）碳化硅單晶錠和襯底片，來(lái)源：浙大杭州國(guó)際科創(chuàng)中心
此外，設(shè)備市場(chǎng)也是碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈成本優(yōu)化與產(chǎn)能擴(kuò)張的重要驅(qū)動(dòng)力。
過(guò)去，碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵設(shè)備如長(zhǎng)晶爐、切割機(jī)、外延爐等高度依賴進(jìn)口，這不僅增加了生產(chǎn)成本，也限制了產(chǎn)能的快速提升。然而，近年來(lái)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備在技術(shù)和性能上取得了顯著進(jìn)步，逐步打破了國(guó)外廠商的市場(chǎng)壟斷，實(shí)現(xiàn)了對(duì)進(jìn)口設(shè)備的國(guó)產(chǎn)替代。
2024年以來(lái)，晶盛機(jī)電、連科半導(dǎo)體、優(yōu)晶科技、等國(guó)內(nèi)設(shè)備廠商圍繞8英寸碳化硅設(shè)備披露了技術(shù)突破、新品發(fā)布、客戶簽單等各方面的進(jìn)展。晶升股份8英寸碳化硅長(zhǎng)晶設(shè)備已完成驗(yàn)證，開啟了批量交付進(jìn)程；連科半導(dǎo)體發(fā)布新一代8英寸碳化硅長(zhǎng)晶爐，正式實(shí)現(xiàn)了大尺寸碳化硅襯底設(shè)備的全面供應(yīng)；優(yōu)晶科技8英寸電阻法碳化硅晶體生長(zhǎng)設(shè)備及工藝成果突破了國(guó)內(nèi)大尺寸晶體生長(zhǎng)技術(shù)瓶頸等。
國(guó)產(chǎn)碳化硅襯底將占半壁江山
從產(chǎn)業(yè)規(guī)模來(lái)看，中國(guó)碳化硅擴(kuò)產(chǎn)幅度大，新產(chǎn)能蓄勢(shì)待發(fā)。
2022年1月，爍科晶體實(shí)現(xiàn)8英寸n型碳化硅拋光片小批量生產(chǎn)，向國(guó)產(chǎn)化批量生產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步。隨著碳化硅技術(shù)不斷突破，下游應(yīng)用市場(chǎng)需求上升，不少新老玩家開啟“瘋狂擴(kuò)產(chǎn)”。
2024年以來(lái)，已有超30個(gè)項(xiàng)目披露了新進(jìn)展，或簽約、或開工、或封頂、或投產(chǎn)，各個(gè)項(xiàng)目都在積極推進(jìn)當(dāng)中，不斷為SiC產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新動(dòng)力。Cengol（北京世紀(jì)金光）的8英寸SiC加工線準(zhǔn)備就緒并投入小批量生產(chǎn)；科友半導(dǎo)體與俄羅斯N公司合作開展“八英寸碳化硅完美籽晶”的項(xiàng)目.....
中國(guó)碳化硅襯底現(xiàn)有產(chǎn)能主要集中在華東地區(qū)，占比近40%，產(chǎn)能主要來(lái)自于華東地區(qū)的山東省、安徽省及上海市。華東地區(qū)不僅是我國(guó)碳化硅襯底產(chǎn)能的集聚區(qū)，還是中國(guó)芯片制造資源最集中的地區(qū)。得益于優(yōu)質(zhì)的上下游產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)，華東地區(qū)吸引了一批碳化硅襯底企業(yè)在此投資布局。
2022和2024上半年中國(guó)碳化硅襯底產(chǎn)能區(qū)域分布
來(lái)源：DT芯材
據(jù)DT芯材目前統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，截至2024年6月底，中國(guó)碳化硅襯底產(chǎn)能約348萬(wàn)片（等效6英寸），到2024年底預(yù)計(jì)會(huì)增加到400萬(wàn)片。
其中華北地區(qū)如天科合達(dá)在北京市大興區(qū)、同光股份在河北保定、爍科晶體在山西太原均有年產(chǎn)10萬(wàn)級(jí)規(guī)模的碳化硅襯底產(chǎn)能；華中地區(qū)三安光電在湖南長(zhǎng)沙三安半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園已建成了年產(chǎn)超過(guò)25萬(wàn)片的碳化硅襯底產(chǎn)能，另外項(xiàng)目二期25萬(wàn)片6英寸碳化硅襯底新增產(chǎn)能預(yù)計(jì)在今年下半年也將陸續(xù)釋放。
中國(guó)軍團(tuán)與國(guó)際企業(yè)“并跑”
國(guó)內(nèi)SiC產(chǎn)業(yè)迅猛崛起，多家實(shí)力派廠商已躍居國(guó)際舞臺(tái)，與國(guó)際巨頭正面交鋒，展現(xiàn)非凡競(jìng)爭(zhēng)力，重塑全球產(chǎn)業(yè)格局。同時(shí)國(guó)內(nèi)SiC市場(chǎng)日益膨脹，國(guó)際大廠紛紛側(cè)目，競(jìng)相入場(chǎng)分羹。
按富士經(jīng)濟(jì)的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，天岳先進(jìn)2023年超越美國(guó)Coherent（高意），成為全球?qū)щ娦吞蓟枰r底材料的全球第二，而天科合達(dá)位居第四。
而Yole的報(bào)告則顯示，天科合達(dá)去年以18%的全球市占率超越高意，天岳則以14%的份額排名第四。
但無(wú)論誰(shuí)是全球第二，兩家中國(guó)企業(yè)相加32%的市場(chǎng)份額，依舊未能超越wolfspeed33%的全球市占率。但隨著時(shí)間周期的加長(zhǎng)，中國(guó)軍團(tuán)的成長(zhǎng)性顯然正沖擊著全球格局�；氐�2021年以前，wolfspeed獨(dú)霸超60%的碳化硅市占率。顯然，目前中國(guó)軍團(tuán)正快速蠶食碳化硅市場(chǎng)。
從市場(chǎng)業(yè)務(wù)拓展來(lái)看。SiC產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)均有企業(yè)已成功實(shí)現(xiàn)海外客戶“0”突破，而天岳先進(jìn)、天科合達(dá)等頭部SiC玩家是其中的代表性企業(yè)。2024年以來(lái)，國(guó)產(chǎn)SiC技術(shù)及產(chǎn)品在國(guó)際市場(chǎng)上似乎越來(lái)越受歡迎。3月，科友半導(dǎo)體與歐洲一家國(guó)際知名企業(yè)簽訂長(zhǎng)單，簽約額超過(guò)2億元人民幣；4月，世紀(jì)金芯與日本某客戶簽訂SiC襯底訂單，按照協(xié)議約定，世紀(jì)金芯將于2024年、2025年、2026年連續(xù)三年向該客戶交付8英寸SiC襯底共13萬(wàn)片，訂單價(jià)值約2億美元（約14.5億元人民幣）。
這些國(guó)際大單在一定程度上可以看出，國(guó)內(nèi)SiC技術(shù)及產(chǎn)品得到國(guó)際客戶的認(rèn)可，在技術(shù)水平、產(chǎn)能等方面都能有比肩國(guó)際SiC巨頭們的實(shí)力。
來(lái)源：
DT芯材：天岳先進(jìn)半年業(yè)績(jī)翻番 國(guó)產(chǎn)碳化硅軍團(tuán)沖擊全球第一
348萬(wàn)片！2024H1中國(guó)碳化硅襯底企業(yè)產(chǎn)能分布詳解
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中國(guó)粉體網(wǎng)：把碳化硅價(jià)格“打下來(lái)”
（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/空青）
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