中國粉體網(wǎng)訊  2024年12月16日消息，凱盛科技就CMP受限期間，公司量產(chǎn)的 CMP 拋光液是否可以替代進口產(chǎn)品問題表示，公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體封裝用高純超細球形二氧化硅樣品和 CMP 拋光液已通過國內(nèi)外客戶驗證，形成小批量銷售。

化學(xué)機械拋光（Chemical Mechanical Polishing，CMP）技術(shù)被譽為是當(dāng)今時代能實現(xiàn)集成電路（IC）制造中晶圓表面全局平坦化的目前唯一技術(shù)，化學(xué)機械拋光的效果直接影響到芯片最終的質(zhì)量和成品率。

CMP工藝  來源：何潮等，半導(dǎo)體材料CMP過程中磨料的研究進展

化學(xué)機械拋光通過拋光液中化學(xué)試劑的化學(xué)腐蝕和機械磨削的雙重耦合作用，在原子水平上去除表面缺陷，獲得全局平坦化表面，因此，拋光液對拋光效果起到至關(guān)重要的影響。

化學(xué)機械拋光液各組分  來源：王東哲等，化學(xué)機械拋光液的研究現(xiàn)狀

但全球CMP拋光液市場主要被美國和日本廠商壟斷。其中卡博特(Cabot)、Versum Materials、日立(Hitach)、富士美(Fujimi)、陶氏(Dow)等美日龍頭廠商占據(jù)全球CMP拋光液市場近80%市場份額。

凱盛科技集團有限公司是世界500強中國建材集團以玻璃新材料為核心的科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)平臺，凱盛科技股份是凱盛科技集團控股的科技型上市公司，作為其“3+1”戰(zhàn)略布局中顯示材料、應(yīng)用材料的重要產(chǎn)業(yè)平臺和核心骨干企業(yè)，在深圳、洛陽、池州、太湖等地擁有生產(chǎn)研發(fā)基地，是國家高新技術(shù)企業(yè)、國家技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)。

公司成立于2000年9月30日，公司堅持創(chuàng)新驅(qū)動，將科技創(chuàng)新作為企業(yè)的核心競爭力，長期保持較高投入，與玻璃新技術(shù)國家重點實驗室等開展緊密的產(chǎn)學(xué)研合作。公司承擔(dān)建設(shè)了國家企業(yè)技術(shù)中心、省工程技術(shù)研究中心、省產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心、省博士后科研工作站等國家和省部級創(chuàng)新平臺20個，建立了包括省“115”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團隊、省高層次科技人才團隊、省科技計劃項目團隊等高素質(zhì)人才團隊19支，承擔(dān)省級以上重點項目19項。截至目前，公司累計授權(quán)專利545件，其中發(fā)明專利139件，美國發(fā)明專利1件，軟件著作權(quán)18件。獲得省級以上科技獎項12項。

來源：凱盛科技集團有限公司官網(wǎng)

參考來源：

[1] 燕禾等，化學(xué)機械拋光技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢

[2] 何潮等，半導(dǎo)體材料CMP過程中磨料的研究進展

[3] 嚴(yán)嘉勝等，硅晶片化學(xué)機械拋光液的研究進展

[4] 王東哲等，化學(xué)機械拋光液的研究現(xiàn)狀

[5] 前瞻產(chǎn)業(yè)研究院、證券之星、凱盛科技集團有限公司官網(wǎng)

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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