中國粉體網(wǎng)訊  近日，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，山東大學(xué)取得一項名為“一種基于芬頓反應(yīng)的堿性氮化鎵拋光液及其制備方法”的專利，能夠有效延長拋光液的有效時長。

作為第三代半導(dǎo)體材料，單晶氮化鎵（GaN）憑借高熱傳導(dǎo)率、低能耗、高電子遷移率等特點具有廣闊的發(fā)展前景，適用于高溫、大功率等極端環(huán)境場合。平坦且無損的晶片表面是GaN作為半導(dǎo)體元器件襯底材料的必要條件。由于GaN具有機械硬度高、化學(xué)惰性強等特點，對其進行高效超精密加工的難度較大。化學(xué)機械拋光（Chemical mechanical polishing, CMP）是目前實現(xiàn)全區(qū)域平坦化的加工方法之一。

除了使用傳統(tǒng)的具有氧化特性的化學(xué)試劑來增強CMP拋光液的氧化性之外，人們不斷致力于采用其他的一些新穎的方法增強拋光液氧化活性，從而來實現(xiàn)超硬材料或惰性材料的表面平坦化加工，如芬頓反應(yīng)。

山東大學(xué)本次發(fā)明屬于化學(xué)機械拋光技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種基于芬頓反應(yīng)的堿性氮化鎵拋光液及其制備方法。發(fā)明提供的堿性氮化鎵拋光液其組成包括過氧化氫、二氧化硅磨料、碳酸氫鈉、鐵鹽、分散劑、穩(wěn)定劑、絡(luò)合劑和去離子水。本發(fā)明通過鐵系離子絡(luò)合物催化過氧化氫可以將芬頓反應(yīng)的適用范圍拓寬到堿性條件，使用穩(wěn)定劑可以促進三價鐵離子向亞鐵離子的轉(zhuǎn)化，增強亞鐵離子的催化作用，延長拋光液的有效時長。該發(fā)明提供的拋光液對環(huán)境友好，不腐蝕加工設(shè)備，成本低，性質(zhì)穩(wěn)定，無需外加輔助設(shè)備操作更方便，可長時間穩(wěn)定存儲。

來源：國家知識產(chǎn)權(quán)局

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參考來源：

[1] 鄭世坤，電化學(xué)芬頓反應(yīng)輔助氮化鎵化學(xué)機械拋光

[2] 山東大學(xué)官網(wǎng)、國家知識產(chǎn)權(quán)局、半導(dǎo)體材料與工藝

（中國粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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