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中科科儀攜半導(dǎo)體檢測設(shè)備及核心零部件國產(chǎn)化解決方案參展SEMICON China 2023

kyky 2023-06-30 | 閱讀：579

6月29日至7月1日，國際半導(dǎo)體展（SEMICON China 2023）在上海新國際博覽中心隆重舉辦。SEMICON China是全球規(guī)模最大、最具影響力的半導(dǎo)體行業(yè)盛會(huì)，囊括了全球主要的半導(dǎo)體設(shè)備及材料廠商。中科科儀作為中國尖端科學(xué)儀器和真空技術(shù)的引領(lǐng)者，在此次展會(huì)中展示了領(lǐng)先的電子光學(xué)與真空技術(shù)、半導(dǎo)體檢測設(shè)備與核心零部件產(chǎn)品及解決方案。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，檢測設(shè)備及核心零部件扮演著至關(guān)重要的角色，是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件高精度制造和高可靠性的關(guān)鍵組成部分。中科科儀作為國內(nèi)一家在掃描電子顯微鏡領(lǐng)域持續(xù)耕耘50余年的企業(yè)，成功研制多款掃描電子顯微鏡并于近年來研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡，打破國外技術(shù)壟斷，解決了我國半導(dǎo)體等高端裝備制造領(lǐng)域檢測設(shè)備依賴進(jìn)口的“卡脖子”問題，在晶圓檢測、線寬測量、半導(dǎo)體器件失效分析等方面有著廣泛應(yīng)用。

真空環(huán)境是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的基本條件，半導(dǎo)體前道工藝中的刻蝕、離子注入、薄膜沉積等都需要在真空環(huán)境中進(jìn)行，真空獲得產(chǎn)品是半導(dǎo)體裝備的核心零部件。磁懸浮分子泵是技術(shù)水平最高的超高真空獲得產(chǎn)品，中科科儀研制了國內(nèi)第一臺磁懸浮分子泵并形成了系列化產(chǎn)品，其中半導(dǎo)體系列磁懸浮分子泵已通過多個(gè)頭部半導(dǎo)體裝備廠家的長期嚴(yán)苛工藝驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了批量銷售。目前，中科科儀在半導(dǎo)體領(lǐng)域積累了多年的產(chǎn)品應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，對半導(dǎo)體工藝要求有了深入的理解，可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化設(shè)計(jì)和生產(chǎn)，滿足進(jìn)口產(chǎn)品國產(chǎn)化替代和國內(nèi)半導(dǎo)體裝備的使用要求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是一個(gè)關(guān)鍵戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，其技術(shù)水平和發(fā)展規(guī)模已成為衡量一個(gè)國家產(chǎn)業(yè)競爭力和綜合國力的重要標(biāo)志之一。未來，中科科儀將持續(xù)加大研發(fā)投入，深耕電子光學(xué)及真空技術(shù)，為客戶提供專業(yè)可靠的產(chǎn)品及服務(wù)，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)一道共同推動(dòng)和見證中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起！

展會(huì)還在繼續(xù)，歡迎您蒞臨SEMICON China 2023 中科科儀展位（E7館 E7146），與我們交流探討半導(dǎo)體檢測設(shè)備及核心零部件國產(chǎn)化解決方案，期待與您相約上海新國際博覽中心！

關(guān)于中科科儀

北京中科科儀股份有限公司（簡稱中科科儀），前身為中國科學(xué)院科學(xué)儀器廠，始建于1958年，是中國科學(xué)院首家事業(yè)單位整體轉(zhuǎn)改制企業(yè)。中科科儀是中國尖端科學(xué)儀器裝備及真空技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)，業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質(zhì)譜檢漏儀等科學(xué)儀器裝備和分子泵、真空應(yīng)用設(shè)備等核心零部件及產(chǎn)業(yè)設(shè)備。70年代，研制出我國第一臺掃描電子顯微鏡、第一臺渦輪分子泵和第一臺商用氦質(zhì)譜檢漏儀。近年來，成功研制出國內(nèi)首臺場發(fā)射槍掃描電子顯微鏡、首臺磁懸浮分子泵，均達(dá)到國際先進(jìn)水平。2008年被評為國家級高新技術(shù)企業(yè)，2014年被評為國家級企業(yè)技術(shù)中心，2021年獲評國家級“專精特新”小巨人企業(yè)稱號，2022年獲評國家級制造業(yè)“單項(xiàng)冠軍”示范企業(yè)稱號。是中國通用機(jī)械工業(yè)協(xié)會(huì)副會(huì)長單位，中國真空學(xué)會(huì)副理事長單位，集成電路零部件產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟副理事長單位，北京真空學(xué)會(huì)理事長單位。

資料來源：企業(yè)公眾號