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北京中科科儀股份有限公司
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1、產(chǎn)品介紹
KYKY-EM8010 場發(fā)射掃描電子顯微鏡 低電壓下能夠保持較好的亮度和較高的分辨率，束流穩(wěn)定度高、色散小，適宜長時間的各種精確分析，一鍵standby功能，維護更方便，軟件操作簡便，提升用戶使用體驗。為科研高校、生命科學，新能源等領(lǐng)域客戶提供穩(wěn)定可靠，超高性價比的產(chǎn)品解決方案。
2、產(chǎn)品特點
l 1.5nm@15Kv (SE)，3nm@30kV (BSE)
l 低加速電壓保持較好的亮度和分辨率
l 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可直接觀測，無需噴金
l 肖特基電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小、壽命長
l 束流穩(wěn)定度高，色散小，適宜于長時間的各種精確分析
l 一鍵standby 維護更方便
l 具備光學導(dǎo)航，快速樣品定位
3、KYKY-EM8010 場發(fā)射掃描電子顯微鏡技術(shù)指標：
分辨率 | 1.5nm@15KV（SE）； 3nm@30KV（BSE） |
放大倍數(shù) | 光學放大倍數(shù)4-100倍；電子學放大8-800000倍 |
電子槍 | 肖特基熱場發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 0.2～30kV |
自動調(diào)整功能 | 聚焦，亮度/對比度、消像散、電子束對中 |
探測器 | 高真空二次電子探測器；紅外CCD攝像頭；一體化背散射探測器；光學導(dǎo)航探測器 |
樣品臺 | 五軸全自動中型樣品臺 行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360° **樣品直徑: Ф175mm；**樣品高度：20mm;樣品臺具有碰撞報警功能。 |
選配探測器 | BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等 |
4、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體、生命科學、材料、新能源、金屬、刑偵、地質(zhì)、功能材料、高分子材料。
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