壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運(yùn)動(dòng)促動(dòng)元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞納米級別的步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動(dòng)臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導(dǎo)體市場、先進(jìn)制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學(xué)、通信等行業(yè)有廣泛應(yīng)用。

自主研發(fā)的壓電驅(qū)動(dòng)納米位移臺，具有運(yùn)動(dòng)無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點(diǎn)。具有步進(jìn)和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。

線性壓電納米位移臺ML-23A，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境。是小空間內(nèi)大行程高精度的定位的優(yōu)先選擇產(chǎn)品。支持定制納米位移臺。

產(chǎn)品優(yōu)勢

• 結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性

• 零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)

• 室溫到液氦工作溫度，真空兼容

• 壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長使用壽命

• 帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制

產(chǎn)品應(yīng)用

電子顯微鏡原位納米探針臺，半導(dǎo)體芯片檢測，光刻機(jī)工件臺，微生物操縱手，光纖焊接