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長行程壓電納米位移臺XYMF-133-100A,具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位準，能在真空下使用等優(yōu)點，XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的準定位，可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。
該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。能夠步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)/閉環(huán)控制。
1、電子顯微鏡原位納米探針臺
2、半導體芯片檢測
3、光刻機工件臺
4、微生物操縱手
5、光纖焊接
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