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AccuTemp(In-Situ 4000)工藝監(jiān)控儀可以閉環(huán)監(jiān)控與控制多層薄膜生長(zhǎng)。
用于MBE、MOCVD以及CIGS等系統(tǒng)中。
AccuTemp提供實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的工藝信息，包括襯底溫度、薄膜厚度、生長(zhǎng)速率。
該儀器放置在一個(gè)觀察窗上。
采用雙色紅外高溫測(cè)量?jī)x測(cè)量溫度，該測(cè)量?jī)x對(duì)觀察窗口的附著物不敏感，還可以校準(zhǔn)誤差。
另一部件輻射儀，用來(lái)補(bǔ)償發(fā)射率的變化，糾正高溫測(cè)量?jī)x的溫度測(cè)量值。
Bandgap模塊可選，它可以監(jiān)控很低的襯底溫度，還可以進(jìn)行高溫測(cè)量?jī)x的簡(jiǎn)單校準(zhǔn)。兩個(gè)獨(dú)立的光學(xué)反射信號(hào)用于分析并實(shí)時(shí)提供厚度、生長(zhǎng)速率及折射系數(shù)。
典型應(yīng)用
AccuTemp典型應(yīng)用于 GaN，GaAs，ZnO，CIGS，Si， ZnTe，SiC，MCT以及STO。
AccuTemp 既可用于研究型設(shè)備也可用于生產(chǎn)型設(shè)備。
Bandgap模塊可以使IS4K測(cè)量低于高溫計(jì)范圍的材料溫度，例如在生長(zhǎng)GaAs、GaSb及Si材料時(shí)可以使用。
特點(diǎn)
●一個(gè)窗口就可以同時(shí)、實(shí)時(shí)測(cè)量溫度和厚度
●采用雙波長(zhǎng)用于穿過(guò)窗口涂層，進(jìn)行透明度補(bǔ)償
●采用發(fā)射率補(bǔ)償，提供真實(shí)溫度
●閉環(huán)控制
●Bandgap模塊用于低溫測(cè)量和校準(zhǔn)
高溫儀溫度范圍 | 450oC - 1，300oC |
Bandgap模塊 | 室溫 - 700oC |
襯底材料 | Si， GaAs， InP， 藍(lán)寶石，STO，Gasb，MCT等 |
輻射儀波長(zhǎng) | 950，850nm |
噪聲等效溫差 | <0.5oC |
反射儀波長(zhǎng) | 950，470nm |
噪音等效厚度差 | <1nm @ film>100nm |
靶距離范圍 | >7mmΦ |
測(cè)量斑點(diǎn)大小 | 1KW-5KW |
觀察窗 | 2.75''CF(4.5''CF如果帶邊) |
尺寸 | 100×140×130mm |
對(duì)正方法 | 視頻監(jiān)控器 |
計(jì)算機(jī)要求 | Windows XP， 序列端口界面 |
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