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SVT線(xiàn)性蒸發(fā)源適用于太陽(yáng)能電池和OLED生產(chǎn)的in-line和roll to roll制程工藝。
線(xiàn)源和體蒸發(fā)源相比，蒸發(fā)溫度更高（>1，500oC）。
線(xiàn)性分布的分流口可使整個(gè)襯底長(zhǎng)度均勻被覆蓋。
**的分流口設(shè)計(jì)避免了材料飛濺和缺陷生長(zhǎng)。
此源還可以通過(guò)調(diào)節(jié)光闌來(lái)調(diào)出**束流。
特點(diǎn)
分流口式生長(zhǎng)提高大面積移動(dòng)襯底的薄膜均一性
獨(dú)立的加熱區(qū)域，便于精確控制
差分噴口可更換，便于調(diào)整束流形狀
源容量大，適于長(zhǎng)期生長(zhǎng)
加熱溫度高，因此沉積速率高
型 號(hào) | 沉積寬度 | 容量 | 法蘭尺寸 |
SVTA-LES-300 | 300mm | 500cc | 6’’(DN100)CF法蘭，其他尺寸可選 |
SVTA-LES-600 | 600mm | 1，000cc， 2，000cc， 或5，000cc | 10’’(DN200)CF法蘭，其他尺寸可選 |
SVTA-LES-1200 | 1，200mm | 2，000cc， 或5，000cc | 10’’(DN200)CF法蘭，其他尺寸可選 |
**體蒸發(fā)溫度 | 1，500oC |
分流口**溫度 | 1，600oC |
源溫度穩(wěn)定性 | +/- 0.1 oC |
束流穩(wěn)定性 | <1% |
**操作環(huán)境壓強(qiáng) | 5X10-5Torr |
沉積均一性 | +/-4%(源與襯底距離300mm) |
熱偶類(lèi)型 | C型 (K型可選) |
冷卻時(shí)間 | 100oC<120分鐘 |
電接插件 | 燈絲：Amphenol環(huán)形燈絲 T/C:Omega亞微型 |
烘烤溫度 | 200oC |
冷卻水接頭 | 2 X 1/4’’ VCR (一進(jìn)一出) |
**水壓 | 80psi |
水流速率 | 500ml/min |
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