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一.技術配置及要求：
1、設備名稱及型號
FRA-2X1-2/EGPS-1011型電子槍及相應配件
2、技術性能指標及參數(shù)
電子槍能量范圍：5 eV to 1000 eV；
電子槍工作距離：10 mm to 50 mm；
電子束偏轉角度：±3.5oat 5 keV；
電子槍束流：1nA 到 400 μA ；
束斑尺寸：20 mm 到 50 mm；
陰極材料：Ta/BaO/Y2O3
計算機/遠程控制能力： 通過50針D-sub接口或RS-232接口
反饋穩(wěn)定功能：發(fā)射電流控制
【可選】雙柵脈沖寬度調制范圍：2 μs 到直流，重復頻率可到5kHz.
【可選】Pulsing-Capacitive脈沖寬度調制范圍：20 ns 到 100 μs；
【可選】法拉第杯
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