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型號(hào)：IBSH-1030 特點(diǎn)： 1、基板水平放置，垂直監(jiān)控； 2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監(jiān)控。 6、無(wú)膜厚分布修正板 | 工藝參數(shù)： 一，真空系統(tǒng) 1、極限真空度：4.0×10-5Pa 2、抽至10Pa所用時(shí)間：≦ 10 分鐘 3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec 二，控制精度 1、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005° 2、工件旋轉(zhuǎn):<1000RPM 3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板：0.005° 5、擋板: position switch 三，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS 1、波長(zhǎng)范圍：380nm～1650nm 2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% 3、波長(zhǎng)分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm 4、波長(zhǎng)準(zhǔn)確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
型號(hào)：IBSH-1030 特點(diǎn)： 1、基板水平放置，垂直監(jiān)控； 2、靶材左右移動(dòng)，位置和速度可編程控制； 3、基板：12吋×1 或 6吋×4； 4、靶材：兩靶，三靶或四靶可更換； 5、多光路監(jiān)控。 6、無(wú)膜厚分布修正板 | 工藝參數(shù)： 一，真空系統(tǒng) 1、極限真空度：4.0×10-5Pa 2、抽至10Pa所用時(shí)間：≦ 10 分鐘 3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec 二，控制精度 1、靶材旋轉(zhuǎn)：0.005° 2、工件旋轉(zhuǎn): <1000RPM 3、編碼器: 12000lines;480000Counts/rev 4、膜厚修正板：0.005° 5、擋板: position switch 三，光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)OMS 1、波長(zhǎng)范圍：380nm～1650nm 2、光源穩(wěn)定性 :白光< 0.1%，激光< 0.02% 3、波長(zhǎng)分辨率: 白光0.2nm，激光0.1nm 4、波長(zhǎng)準(zhǔn)確度: 白光0.2nm ，激光0.1nm |
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