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無(wú)接觸破壞的半導(dǎo)體特性
少數(shù)載流子壽命的檢測(cè)能力
先進(jìn)的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
自動(dòng)切割標(biāo)準(zhǔn)定義
獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測(cè)量
完全自動(dòng)化的內(nèi)聯(lián)集成
對(duì)太陽(yáng)能級(jí)硅錠進(jìn)行掃描，1mm分辨率
測(cè)量時(shí)間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描，可自動(dòng)測(cè)量所有4個(gè)面
Automated determination of cut off criteria
先進(jìn)光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測(cè)的世界記錄。
在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測(cè)試，同時(shí)可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的
線掃描測(cè)試?？蛻舳x的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)允許對(duì)下一代光伏晶圓廠進(jìn)行完全自動(dòng)化的材料監(jiān)控。
對(duì)爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測(cè)，并進(jìn)行失效分析。特殊的“underneath the surface”測(cè)量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。
Recognition of cracks， chunks etc. Automated cut criteria definition， lifetime map
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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