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德國Kleindiek微操縱儀
德國Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅動單元是由壓電陶瓷構成的納米馬達，因此它**的特點是能夠進行納米級精確移動，在保證納米級移動的同時其**的設計可以同時做到毫米級的移動范圍，整個操縱裝置全部由納米馬達驅動，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀有以下型號以適用于不同的環(huán)境： MM3A-LMP Micromanipulator for Light Microscopy
MM3A-EM Micromanipulator for Electron Microscopy
MM3A-UHV Micromanipulator for UHV
MM3A-LT Micromanipulator for low temperature
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀MM3A-EM以其高精度、超靈活、易操作、小體積成為電子顯微鏡用戶的得力助手，改變了電子顯微鏡只用于樣品觀察的傳統(tǒng)，直接在樣品室內操縱樣品，由此衍生了許多豐富多彩的應用，使得對樣品的研究更深一步。MM3A的移動范圍是三維空間的，X、Y軸可作±120°擺動，Z軸可作12mm的伸長，整個空間的移動范圍達到100立方厘米。系統(tǒng)驅動全部由壓電陶瓷來實現，由此保證了Z軸每個步進的精度可達0.5nm，當采用快速移動模式時，速度可達到2mm/s，可以說是同時兼具了高精度和高效率，**的大行程設計，使得Z軸總行程可達到12mm，納米級的移動精度、厘米級的移動范圍是MM3A的**特點。
MM-3A-LS以其高穩(wěn)定性、高精度、無漂移的鮮明特性，被廣泛應用于生命科學領域的高靈敏膜電位測量領域。衍生產品MM3A-LMP與光學顯微鏡結合，被廣泛應用于半導體的探針系統(tǒng)中，可適應45nm、65nm、90nm工藝的要求。
顯微操縱儀的極細微的漂移都會影響到細胞膜電位的測量，這就要求顯微操縱儀盡量能做到零漂移，德國Kleindiek Nanotechnik公司生產的MM3A很好地解決了漂移的問題，既使是長時間的測量也沒有漂移的現象。MM3A體積相對傳統(tǒng)的顯微操縱儀而言小了很多，長度約60mm重約45g，這種設計保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性并降低了系統(tǒng)噪音水平，震動幾乎對MM3A不產生影響。采用磁性基座固定，MM3A可以方便地安裝在載物臺的任何地方。在操縱儀的前端有叉式的玻璃管夾持器，玻璃管的更換簡單易操作。
MM3A-EM技術參數： |
| Length / Width / Height 60/22/25 mm Operating range XY / Z 240°/12 mm Scan range X / Y / Z 20/15/1μm Max Speed XY / Z up to 10/ 2 mm/s Resolution X 10-7 rad (5 nm) Resolution Y 10-7 rad (3.5 nm) Resolution Z 0.25 nm Hysterisis deviation Z <200 nm Hysterisis Angle (α) Z <10° (0.2 rad) |
| Lowest temp 273K Highest temp 353K Lowest pressure 10-7 mbar Holding force 1 N Holding torque 3 Nmm - 4 Nmm Lift Y 5g Signal resistance (probing) 7.0Ω Max voltage (probing) 100V ；Max current（probing）100mA |
德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微操縱儀的突出特點： 納米操縱精確度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向*小移動距離為5nm，在Z方向*小移動距離為0.5nm。
快慢可調的操作速度：可以選擇一個步進0.5nm，也可以選擇**移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細操作**地結合在一起。
緊湊的結構設計：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內安裝1~8個系統(tǒng)。 三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍**達100cm3。 幾乎無漂移：我們曾經做過實驗MM3A鎢探針針尖在場發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時后通過對照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產生漂移。 與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個安放過程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時將平臺卸下取出既可?？刂凭€通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。
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