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中小尺度納米深度3D形狀檢測儀/

大樣品臺測量顯微鏡 DX 6045

DX系列光學(xué)顯微鏡是針對中、小尺寸觸控面板之Pattern進(jìn)行觀察、量測。DX系列采花崗巖底座設(shè)計，可抑制環(huán)境震動的影響，提高高倍率觀察量測之效率。人性化計算機(jī)量測模式、移動方式采手動快速位移及定點(diǎn)微調(diào)，使操作更便利、量測更迅速。

花崗巖本體結(jié)構(gòu)

X/Y鋁合金平臺機(jī)構(gòu)

氣浮式快速移動機(jī)構(gòu)

OLYMPUS / Leica 光學(xué)系統(tǒng)可搭配5X/10X/20X/50X物鏡

上、下偏光功能

Nomarski 微分干涉功能

高解析彩色CCD

專業(yè)影像量測軟件

PC計算機(jī)

防震機(jī)構(gòu)

實(shí)物影像

1、概要

本顯微鏡測定器是針對中、小型觸控面板之Pattern進(jìn)行其尺寸量測。

花崗巖本體結(jié)構(gòu)設(shè)計，可抑制環(huán)境震動的影響，提高高倍率量測之效率。

操作方式采手動快速位移及定點(diǎn)微調(diào)，再利用測定軟件進(jìn)行影像測定。

2、特點(diǎn)

1、基座：落地型，采用強(qiáng)力鋼管制造及花崗巖床臺，附活動輪可自由、輕易移動位置。

2、設(shè)備任何操作鈕，皆采前面平臺操作設(shè)計，使操作更加便捷。

3、采用精密包覆式軌道安裝設(shè)計。

4、采用U型無牙滾子導(dǎo)軌，具有高剛性及高精度的特點(diǎn)。

5、五孔電動物鏡轉(zhuǎn)換。

6、X、Y軸安裝空氣離合器、大移動機(jī)構(gòu)。

7、四組被動式空氣防震系統(tǒng)，六組防震腳座，防震系統(tǒng)佳。

3、主要規(guī)格

3-1 測定sample

1、sample尺寸：600 * 450mm

2、sample重量：20KG以下

3、**測定物尺寸：X軸 = 800 mm、Y軸 = 700 mm

4、有效量測長尺寸：X軸 = 500 mm、Y軸 = 400 mm

3-2 Sample Stage

1、工作臺面尺寸：800 * 700 mm

2、玻璃尺寸：560 * 460 * 12T mm

3-3 X、Y、Z軸

1、行程：600 * 450 mm (X、Y)

2、行程：150mm（Z）

3、X、Y驅(qū)動方式：采微調(diào)用手輪，*小微動可達(dá)1um，操作游戲桿分粗動

與微動兩種速度調(diào)整。

4、Z軸采微調(diào)用手輪之操作，對焦容易。

3-4 可兼容OLYMPUS 或LEICA光學(xué)系統(tǒng)

3-5 機(jī)臺尺寸：W1200×D760×H1400mm，落地型。

3-6 機(jī)臺重量：800Kg

3-7 Utility：單相220V，20A，空壓源4KG/cm2

3-8 環(huán)境：

1) 動作環(huán)境： 溫度： 10~35℃，濕度：80%以下

2) 保存環(huán)境： 溫度：-10~50℃，濕度：90%以下

3) 震動環(huán)境： 10HZ以下 振幅2um以下

10HZ以上 加速度0.2gal以下

4、影像量測軟件系統(tǒng)：智能尋邊影像版

影像功能 ;

校正功能 ;

SPC功能