產(chǎn)品特性

對氣體分子有較高的電離和分解程度，離子密度均勻

高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，安全因素高

人性化操作界面，易操作和保養(yǎng)維護

性能可靠，良好的互鎖、故障報警和實時監(jiān)控功能

腔體后端安裝有屏蔽系統(tǒng)，避免電磁輻射

工藝選擇性去除污染物

可同時存儲多組配方，調(diào)用即可

全過程工藝可控，可在線設(shè)置、修改、監(jiān)控各種工藝參數(shù)

沒有內(nèi)部電極，在等離子腔體內(nèi)沒有工作氣體以外的任何物質(zhì)污染源，潔凈度高

可選自動門方式，方便后續(xù)自動化連線需求

產(chǎn)品參數(shù)