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多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)是用來(lái)制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù),主要借助微波或射頻的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行,從而在基片上沉積出所期望的薄膜。
目前項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面)直接生長(zhǎng)以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡(jiǎn)單廉價(jià),且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長(zhǎng)工藝的兼容性。
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