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BASIXX ST20+（?200毫米）臺式旋涂機，帶電動介質臂
BASIXX ST20（?200毫米）臺式旋涂機
BASIXX ST20+實驗室臺式勻膠機
是一款緊湊的旋涂，顯影，清潔和干燥半自動系統(tǒng)，旨在為科學和研究領域的用戶提供高效，安全和清潔的實驗室系統(tǒng)。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理，例如編寫，編輯，保存和加載。 服務區(qū)提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。
特點：
÷直驅無刷微調電機
÷全軸電機驅動且完全可編程
÷具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷旋轉器蓋傳感器控制
÷通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷外殼上的電源開關ON / OFF
÷配備標準的水坑噴嘴，通過水坑噴嘴注入溶劑
÷可拆卸處理碗和飛濺環(huán)，便于清潔
÷可處理圓形晶片，尺寸**為?200mm（?8英寸）
÷可處理方形基板，尺寸**為150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷標配*多安裝3個介質管線/噴嘴（可選：*多5個介質管線/噴嘴）
÷可視真空控制儀
÷真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運行來控制
÷含0.5 Itr的廢液瓶
÷可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質臂
÷可作為臺式安裝，也可做獨立裝置使用
÷簡單且經(jīng)濟高效
÷專為研究所，實驗室和基礎研發(fā)而設計
應用于：旋涂，顯影，清潔和干燥
產(chǎn)品參數(shù)：
可處理襯底尺寸：直徑**為?200mm（?8英寸）圓片，或**為150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；
旋轉速度：**10，000rpm *，（以rpm步長為單位）；
加速度：**4.000 rpm / sec *；
處理時間：1至999，9sec，以0.1秒為步；
處理碗：可更換，聚丙烯（PP）材質
腔體：白色（PP）材質
固定晶圓片或襯底的裝置：真空托盤；
電源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直徑6 mm
排氣-過程：1x外徑38毫米，約 30立方米/小時
氮氣（可選）：4土0.2 bar，PFA管外徑6 mm
CDA（可選）：8土2bar，管外徑8mm。
選配項：
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
暫無數(shù)據(jù)！
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