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技術(shù)參數(shù)：我們提供多種口徑的圓形平面靶槍?zhuān)叽?"， 2" and 3". 以及矩形靶槍
安裝法蘭口徑：NW63CF，NW100CF
真空腔體內(nèi)長(zhǎng)度范圍：150-400mm
真空腔體內(nèi)端面直徑：60-96
靶材直徑： 1"， 2" and 3"
靶材**厚度：4-6mm
冷卻：水冷
特點(diǎn)：
100%超高真空（UHV）應(yīng)用
獨(dú)有的放射性沉積模式
在線(xiàn)Z軸驅(qū)動(dòng)及傾斜
水冷時(shí)不會(huì)存在水汽
平衡靶和非平衡靶設(shè)計(jì)
高強(qiáng)度磁體應(yīng)用于磁性材料
應(yīng)用領(lǐng)域：
PVD沉積
金屬涂層
納米結(jié)構(gòu)薄膜
多層鍍層
反應(yīng)濺射
射頻濺射，直流濺射，脈沖直流濺射
硬質(zhì)涂層
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