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生產型磁控濺射設備—MSI-100-HV品牌
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安徽樣本
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MSI-100-HV生產型磁控濺射設備是針對企業(yè)和高校實驗室以及小試線研發(fā)的高性能、低成本和高效率的磁控濺射裝備。它采用簡單可靠的模塊化設計，包括進樣室和濺射室，可滿足8inch晶圓上納米級材料的生產制備需求，具有穩(wěn)定、可靠、成本低的特點。
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