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1.提供先進(jìn)的成套MPCVD氣相沉積系統(tǒng)。
2.系統(tǒng)核心器件電源、磁控管國(guó)產(chǎn)化，微波功率可到75kW。
3.擁有CST、Comsol模擬仿真和大型工作站，可進(jìn)行2450MHz、915MHz頻段的腔體仿真優(yōu)化和快速迭代升級(jí)。
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