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TFC-6650C化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備
TFC-6650C化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備

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型號

TFC-6650C化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備

品牌

碳方程

產(chǎn)地

山西

樣本

暫無
碳方程半導(dǎo)體設(shè)備制造(山西)有限公司

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TFC-6650C,微波等離子體化學(xué)氣相沉積(MPCVD)設(shè)備是***的 CVD 系統(tǒng)。針對用戶的具體要求設(shè)計和研制的一臺多用途、高穩(wěn)定中等壓強微波等離子體綜合設(shè)備。它具有智能化生長、性能先進、功能完 善、結(jié)構(gòu)合理,使用方便、安全可靠、外形美觀等特點,特別適合應(yīng)用于單晶和多晶金剛石膜、類金剛膜的化學(xué)汽相沉積;材料表面處理和改性;低溫氧化物的生長等領(lǐng)域。image.png

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