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TWINSCAN XT:450G 365-nm步進(jìn)式掃描系統(tǒng)是一種高生產(chǎn)率的雙級(jí)光刻工具，設(shè)計(jì)用于批量生產(chǎn)分辨率低至 220-nm 及以上的關(guān)鍵 i-line 應(yīng)用。TWINSCAN 平臺(tái)的雙晶圓臺(tái)技術(shù)使一個(gè)晶圓的曝光和下一個(gè)晶圓的對(duì)齊和映射能夠并行進(jìn)行，從而幾乎消除了開銷時(shí)間并允許對(duì)晶圓進(jìn)行連續(xù)圖案化。
此外，高強(qiáng)度 5.5 kW Hg 燈和快速臺(tái)通過*小化每個(gè)場的曝光掃描時(shí)間和場之間的步進(jìn)時(shí)間來確保**生產(chǎn)力。液位傳感器與 TWINSCAN 調(diào)平方法相結(jié)合，幾乎消除了內(nèi)部芯片和邊緣芯片之間的差異，并確保整個(gè) 300 毫米晶圓的高良率。高吞吐量和產(chǎn)量與快速的標(biāo)線交換時(shí)間和批量流式傳輸相結(jié)合，可提供*低的運(yùn)營成本。
該工具出色的疊加和成像功能允許將非關(guān)鍵 KrF 層轉(zhuǎn)換為 i-line，從而顯著節(jié)省成本。
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