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SU-8等離子去膠機(jī)
SU-8等離子去膠機(jī)

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面議

型號

SU-8等離子去膠機(jī)

品牌

北京杰能達(dá)

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京杰能達(dá)機(jī)電設(shè)備有限公司

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用于去除SU-8這樣的厚光組層

還可以用于各向同性材料蝕刻,例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等

不受離子腐蝕的純化學(xué)腐蝕

集成RPS源(遙控/自由基等離子源)

等離子區(qū)域水冷

基板超低熱負(fù)荷

腐蝕速率高(很大范圍內(nèi)不低于200μm/h)

基板尺寸可達(dá)460mm x 460mm


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