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DX-7A型硅單晶晶片定向儀(7AC型7AS型7AZ型)
功能：該儀器主要用于測(cè)定切割后的硅單晶晶片表面及參考面的角度，也可用于測(cè)定其它種類單晶材料的晶片。儀器配有吸氣泵?？蓽y(cè)定直徑為 3-8 英寸的晶片，測(cè)定晶面為 100 、 110 、 111 、 210 等。該儀器為雙工作臺(tái)，可同時(shí)完成相同任務(wù)，也可分別測(cè)定晶片表面和參考面，根據(jù)用戶需要配置。
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目 | 參 數(shù) |
輸入電源 | 單相交流220V，50Hz，0.3KW. |
大管電壓 | 30kV |
管電流 | 0-5mA連續(xù)可調(diào) |
接收器 | 蓋革計(jì)數(shù)器，工作電壓高為DC1050V |
X射線管 | 銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽極接地。 |
測(cè)定角度 | 2θ=－10～120°，θ=－5～60°。 |
綜合精度 | ±30″（用標(biāo)準(zhǔn)石英片10ī1面測(cè)量） |
小讀數(shù) | 1″ |
外形尺寸 | 1290（長(zhǎng)）x772（寬）x1300（高）mm |
儀器重量 | 300kg。 |
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