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定制-電子束系統(tǒng)品牌
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電子束系統(tǒng)
Description:
●專為金屬、電介質(zhì)、氧化物、半導(dǎo)體和合金的沉積而設(shè)計(jì)，用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和試生產(chǎn)應(yīng)用
●可配置離子束清洗和離子輔助沉積(IAD)的離子源
●可實(shí)現(xiàn)<+/-3%的均勻沉積
●系統(tǒng)可配備不同的真空泵，用于高壓和超高壓
●多功能、操作簡便、長期可靠，適用于單層和多層薄膜蒸發(fā)
暫無數(shù)據(jù)！
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