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l 各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測。
l MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描。
l 樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測，每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒。
l 該儀器有許多專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其*常用的一種應(yīng)用方向，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。
特性▼
l 允許單片調(diào)查
l 配方的基礎(chǔ)測量
l 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性
優(yōu)勢▼
l 在μ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)。
l 用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓，包括材料制備，和各種工藝處理階段。
l 小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動化接口使集成變得容易。優(yōu)勢是長時(shí)間的可靠性和測量結(jié)果的高精度。
樣品種類 | 多晶或單晶晶元片， 晶錠，晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
電導(dǎo)類型 | p， n |
材質(zhì) | 硅晶圓，部分或完全加工晶圓，化合物半導(dǎo)體等 |
測量屬性 | 載流子的少子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm， 重量: 3 kg |
電源 | 24 V DC， 2 A |
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