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德國弗萊貝格XRD-OEM-在線X射線衍射儀
德國弗萊貝格XRD-OEM-在線X射線衍射儀

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德國

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束蘊儀器(上海)有限公司

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XRD-OEM的特點▼

l 可以集成任何自動化或處理系統(tǒng)適用于極端環(huán)境(研磨、鋸切)

l 緊湊、標準的工業(yè)接口

l 獨立定位測量測量平面或圓周

l 光學等級檢測

l 解決了行業(yè)難題:

如果加工設備和定向測量是分開的,那么就會因為樣品轉(zhuǎn)移而造成定向誤差

市場對于精確對齊的晶圓的需求量越來越大

l 將測量過程整合到工業(yè)生產(chǎn)中研磨或鋸切

技術(shù)參數(shù)▼

l 可測量材料:硅,碳化硅,砷化鎵更多

l 樣品尺寸:鋼錠直徑450毫米

l 冷卻:空氣,低噪音

l 可能的用途:在鋸/磨//缺口檢測前對大型晶錠進行預對準

應用實例▼

硅錠取向:

磨削前對平面和缺口位置的檢測

樣品直徑可達8 ",長度可達40厘米

XRD-OEM適配普遍的打磨設備▼

無需移動樣本即可進行定向與打磨產(chǎn)線相結(jié)合直接進行在線檢測

可以直接集成到基礎機圓磨床72/856

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