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微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型
微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— A型

品牌

華宇東升

產(chǎn)地

四川

樣本

暫無(wú)
成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)

—— A 

   一款典型的微波等離子體化學(xué)氣相沉積裝置,可以在50mm直徑的襯底范圍內(nèi)進(jìn)行金剛石單晶和多晶生長(zhǎng)。

應(yīng)用領(lǐng)域:工具、熱沉、光學(xué)窗口、寶石等。



    


性能特點(diǎn):

?**功率達(dá)到6kW

?微波反應(yīng)腔新型設(shè)計(jì),功率密度大

?產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高

?采用水冷全金屬腔體

?采用高效散熱的樣品臺(tái)

?設(shè)備安全性高、耐用性高、可靠性強(qiáng)

?多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),PLC屏幕控制,簡(jiǎn)捷的人機(jī)交互界面


主要技術(shù)參數(shù):

微波功率

0.6kW -6kW 連續(xù)可調(diào) 2.45GHz

反應(yīng)腔圓柱形反應(yīng)腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
氣體質(zhì)量流量控制標(biāo)配5路,可定制
工作氣壓

1kPa - 30kPa

樣品臺(tái)

一層升降

基板臺(tái)類(lèi)型水冷式基板臺(tái)
襯底托**支持60mm直徑圓臺(tái)面積穩(wěn)定沉積
操作系統(tǒng)

PLC控制系統(tǒng)

樣平臺(tái)升降功能有,可選
樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能
旋轉(zhuǎn)模式連續(xù)旋轉(zhuǎn)、間歇旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)角度360°
旋轉(zhuǎn)速度0-20轉(zhuǎn)/分,可調(diào)節(jié)


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