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微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— B型
微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— B型

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型號

微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng) —— B型

品牌

華宇東升

產(chǎn)地

四川

樣本

暫無
成都華宇東升微波設(shè)備有限公司

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性能特點:

?采用特殊材質(zhì)反應(yīng)腔,能耐高溫

?高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長

?使用高精度氣體流量計,高穩(wěn)定性

?采用純凈的石英窗


主要技術(shù)參數(shù):

微波功率0.6kW - 6kW 連續(xù)可調(diào)  2.45 GHz
反應(yīng)腔圓柱形反應(yīng)腔
真空漏率≤5×10-10Pa·m3/s
氣體質(zhì)量流量控制標(biāo)配5路,可定制
工作氣壓1kPa - 30kPa
基板臺類型水冷式基板臺
標(biāo)準襯底托**支持60mm直徑圓臺面積穩(wěn)定沉積
樣品臺多層升降
操作系統(tǒng)PLC控制系統(tǒng)
樣品臺升降功能有,可選
樣平臺旋轉(zhuǎn)功能
旋轉(zhuǎn)模式連續(xù)旋轉(zhuǎn)、間歇旋轉(zhuǎn)
旋轉(zhuǎn)角度360°
旋轉(zhuǎn)速度0-20轉(zhuǎn)/分,可調(diào)節(jié)


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售后服務(wù)

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易用性

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性價比

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