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應(yīng)用：

◆ 硅外延層的CV測試；

◆ 半導(dǎo)體器件及化合物半導(dǎo)體（GaAs/SiC）的CV/IV測試。

技術(shù)參數(shù)：

SSM公司的汞探針CV測試設(shè)備是半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體（GaAs/SiC）行業(yè)的標準設(shè)備，行業(yè)占有率超過９０％。其多項**技術(shù)保證了測試的高精確性及重復(fù)性。

主要特點：

◆ 高精度和準確性的參數(shù)測試(Qeff， Qot， Fbd， Vbd， K...)；

◆ 在半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體（GaAs/SiC）行業(yè)超過９０％的市場占有率；

◆ 高重復(fù)性（<1%）；

◆ 非破壞性；

◆ 雙重的filer保護系統(tǒng)確保Hg的使用安全。