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應(yīng)用：

◆各種材質(zhì)及薄膜應(yīng)力分析。

◆ 其他型號：FLX-3300 (適用于12”樣片)

技術(shù)參數(shù)：

Toho FLX-2320-S薄膜應(yīng)力計(jì)精確測量多種襯底材料、金屬和電介質(zhì)等薄膜應(yīng)力。

主要特點(diǎn)：

◆雙光源掃描（可見光激光源及不可見光激光源），系統(tǒng)可自動選擇**匹配之激光源；

◆系統(tǒng)內(nèi)置升溫、降溫模擬系統(tǒng)，便于量測不同溫度下薄膜的應(yīng)力，溫度調(diào)節(jié)范圍為-65℃至500℃；

◆自帶常用材料的彈性系數(shù)數(shù)據(jù)庫，并可根據(jù)客戶需要添加新型材料相關(guān)信息至數(shù)據(jù)庫，便于新材料的研究實(shí)驗(yàn)；

◆形象的軟件分析功能，用于不同測量記錄之間的比較，且測量記錄可導(dǎo)出成Excel等格式的文檔；

◆具有薄膜應(yīng)力3D繪圖功能。