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AR6100RR 全自動(dòng)環(huán)切機(jī)

主要特點(diǎn)：

▏多軸聯(lián)動(dòng)環(huán)切技術(shù)，保證環(huán)切精度。
▏定制化工作臺(tái)設(shè)計(jì)，保證TAIKO工藝下晶圓特殊結(jié)構(gòu)穩(wěn)定加工。
▏四工位，多片協(xié)調(diào)加工，加工效率高。
▏全自動(dòng)上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環(huán)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行模式，大大降低OP工作量。
▏穩(wěn)定的TAIKO外環(huán)解膠和取環(huán)。
▏兼容性好，與市面上的其他類型設(shè)備，關(guān)鍵耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人機(jī)交互界面。

先進(jìn)功能：

? 掉環(huán)檢測功能；
?工作臺(tái)自動(dòng)清洗功能；
?智能UV解膠系統(tǒng)；
? 操作日志記錄功能；
?二流體清洗功能；
?真空預(yù)警與真空管路去水功能；
?搬運(yùn)撞擊檢測功能；
? 條形二維碼識(shí)別功能；
? *工廠自動(dòng)化模塊；
? *軟件定制。