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設(shè)備主要用于高效晶硅體太陽能電池制造工藝中HJT電池片正面和背面IOT薄膜的沉積。
膜塊化設(shè)計(jì)，便于安裝以及產(chǎn)能升級;
滿足不同溫度沉積ITO薄膜，工藝擴(kuò)展性強(qiáng);強(qiáng)控旋轉(zhuǎn)陰極靶快速鍍膜技術(shù)，靶材利用率高;
分區(qū)加熱和控溫，具有出色的控溫系統(tǒng)和控溫性能。
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